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半导体
碳化硅陶瓷材料于硅相匹配的热膨胀系数、耐磨损、耐化学腐蚀，重量轻、弹性模量高以及良好的比刚度和光学加工性能，特别适合用于半导体装备中使用的精密陶瓷结构件。如碳化硅多孔真空吸盘、碳化硅凸点吸盘、碳化硅抛光盘和承载盘、碳化硅机械手臂、晶舟、碳化硅导轨和支架等。
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